低析出、纯净、能够抵御Plasma 的攻击,是半导体行业比较有特点的需求。润方相关材料可以做到Totaloutgassing <100 ppm (ug/g) 、Particle <4.5 particle/mm2的高等级要求,在沉积、蚀刻、门封等工艺环节和设备上,有着长效稳定的应用。

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